電子工業製備超純水的工藝大致分成以下3種：
1采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合製備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床（複床）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點
2、采用離子交換樹脂製備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床（複床）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點
3、采用反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配製備電子工業超純水的的方式，這是一種製取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水製備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點
電子工業超純水設備的特點是：
由於電子工業超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理係統、RO反滲透主機係統、離子交換混床（EDI電除鹽係統）係統等構成主要設備係統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控製係統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控製儀表、電氣采用PLC可編程控製器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。
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